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    1200℃-CVD管式爐

    【產品名稱】1200℃-CVD管式爐

    【爐管尺寸】φ25--φ120mm

    【加熱區】300mm 

    【額定溫度】1200℃

    【電源電壓】AC220V/50Hz 

    【控溫精度】±1℃ 

    【應用領域】化學氣相沉積(CVD)是指化學氣體或蒸汽在基質表面反應合成涂層或納米材料的方法,是半導體工業中應用最為廣泛的用來沉積多種材料的技術,包括大范圍的絕緣材料,大多數金屬材料和金屬合金材料。

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    商品描述

    【產品名稱】1200℃-CVD管式爐

    【爐管尺寸】φ25--φ120mm

    【加熱區】300mm 

    【額定溫度】1200℃

    【電源電壓】AC220V/50Hz 

    【控溫精度】±1℃ 

    【應用領域】化學氣相沉積(CVD)是指化學氣體或蒸汽在基質表面反應合成涂層或納米材料的方法,是半導體工業中應用最為廣泛的用來沉積多種材料的技術,包括大范圍的絕緣材料,大多數金屬材料和金屬合金材料。


    一、 產品描述

       系列產品主要針對在真空或者保護氣氛下對樣品的熱處理,優質的爐膛材料和穩定的溫度控制系統,可保證實驗數據的可靠性;產品采用新型陶瓷纖維材料作為爐膛材料,爐管材質優良,爐管兩端不銹鋼法蘭密封,可在真空下工作,法蘭上有進氣口和出氣口,可通入保護氣體,精密針型閥可調節進氣流量。

    二、產品特點

    1、 爐膛材料選用高純氧化鋁陶瓷纖維材料,新型拼裝結構,高溫不變形、堅固耐用

    2、 發熱體采用高溫合金絲,可承受負荷大,穩定且使用壽命長

    3、 爐管采用石英管,兩端不銹鋼法蘭設計簡單、合理、易拆卸,方便進出被燒結樣品

    4、 升溫速度快,從室溫升到1000攝氏度,一般需要15-30分鐘

    5、 采用智能PID溫控儀表,控溫精度高,沖溫小,具有溫度補償和溫度校正功能,精度為±1℃

    6、 控溫儀表具有程序功能,可設定升溫曲線,可編程序30段

    7、 一體式結構,外觀專利設計,美觀、大方

    8、 電子元器件均采用知名產品,帶有漏電保護功能,安全可靠

    9、 本機對工作過程中的超溫會發出報警信號,并自動完成保護動作

    10、當儀表程序設定完成后,只要按下運行按鈕,接下來的工作會自動完成

    11、可選配大屏幕無紙記錄儀,實現對升溫曲線的實時記錄,并帶有存儲卡可對實驗數據進行分析和打印

    12、可選配氣體質量流量計,通入氣體可數字精確控制

    型號

    STGC-25-12

    STGC-40-12

    STGC-60-12

    STGC-80-12

    STGC-100-12

    STGC-120-12

    爐管尺寸

    Φ25 x 800mm

    Φ40 x 800mm

    Φ60 x 800mm

    Φ80 x 800mm

    Φ100 x 800mm

    Φ120 x 800mm

    額定溫度

    1200℃

    工作溫度

    1100℃

    加熱區尺寸

    300mm

    電源電壓

    220V/1.8KW

    220V/1.8KW

    220V/2.6KW

    220V/2.6KW

    220V/2.6KW

    220V/5KW

    加熱元件

    HRE合金電阻絲

    爐膛材料

    濕法真空抽濾成型制備的多晶無機氧化鋁陶瓷纖維材料

    爐管材料

    石英管

    控溫精度

    ±1

    測溫元件

    N型熱電偶

    溫控儀表

    智能微電腦PID溫控儀表,SCR/SSR控制,PID參數自整定功能;可編程序30個時段,程序升溫、程序保溫、程序降溫

    升溫速度

    1-25℃/min自由調節

    爐體結構

    爐膛溫控一體式結構,爐膛開合式;雙層外殼,空氣循環隔熱

    密封性能

    爐管兩端裝有不銹鋼金屬法蘭,配套高溫 PTFE 墊圈,可在真空下進行工作, 密封真空度≤0.0001pa

    氣氛性能

    法蘭兩端有進氣口和出氣口,壓力表裝在金屬法蘭上,精密針型閥可調節進氣和出氣量,可通入氮氣、氬氣、氫氣等保護氣體

    真空獲得

    配套獨立的真空獲得系統,系統內配有1臺雙極旋片式真空泵和數字真空計,包括不銹鋼波紋管和擋板閥等組件,系統真空度5pa,還可以選擇分子泵機組

    氣路系統

    配套獨立的氣路系統,系統有三路浮子流量計組成,有混氣室,可單進單出也可三路氣體混氣后進入管式爐系統,浮子流量計量程:60-600ml/min;也可選擇自動質量流量計系統,控制精度±1.5%FS,重復精度±0.2%FS,量程:一路0-100SCCM,二路0-200SCCM,三路0-500SCCM

    設備保護

    模塊化控制,對工作過程中的超溫、斷偶會發出聲光報警信號,并自動完成保護動作

    安全保護

    在設備上裝有空開斷路器,如發生短路漏電情況時會自動彈開,能保護設備和操作人員的安全

    外殼

    優質冷軋鋼板數控機床下料加工,經過焊接、打磨、拋光、磷化、酸洗、表面靜電噴涂塑粉

    質量認證

    ISO9001   CE    SGS   TUV

    標準配置

    1、爐體一臺  2、溫度控制器一臺   3、電源線3米   4、熱電偶一支  5、說明書一份  

    6、爐鉤一把  7、高溫手套一雙    8、管堵二個   9、密封法蘭一套

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